第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机
作者:
推土机FFX 更新:2021-04-13 01:43 字数:3485
“岸然,这事我必须当面和你说清楚,这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”
王岸然一下来了兴致。
“有什么不一样?”
“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”
“张教授,你倒是说啊!”
张大京嘴角带着笑,指着王岸然说道:“岸然,我一直以为你比别的年轻人沉得住气,现在看来,只是没找到你感兴趣的东西啊!”
王岸然白了张大京一眼,说道:“张教授,你再不说,我可要翻脸了啊!”
“好!好!”张大京摇摇头,说道:“岸然,有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”
额,王岸然感觉呼吸都有些急促,krf准分子激光光源有两种波长,一种是248纳米,另外一种就是193纳米。
这跟高压汞灯光源不一样的是,高压汞灯光源还属于可见光,而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。
虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究,而且取得了相应的成果,不过适用于光刻的248纳米光源,要求的是百焦级别的高功率,以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。
门槛就在这里。
事实上,ibm早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻,而十五年过后,对国内来说,还是一道深不可测的技术门槛。
没想到,这玩意竟然被张大京搞来了……
王黯然忙问道:“张教授,我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的,你怎么……?”
“岸然,你错了,瓦森纳协议中限制出口的列表,今年没有把248纳米krf列入其中。
不过需要说明的是,这款激光器是不可以用作军事用途的,所以,他们会派人监管,并定期检查的。”
自己的消息还是滞后了啊!
王岸然摇摇头,如果248纳米光刻机解除禁运的话,国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步,甚至在深紫光上有了突破。
原因很简单,瓦森纳协议的核心就是n-2政策,西方审批出口的依据就是,对华出口的设备必须是落后两代。
而实际上,审批程序很复杂,等真拿到设备的时候,差不多已经是第三代的了,基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。
这也没办法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙问道:“张教授,这条芯片生产线,可以……”
张大京打断王岸然的话,说道:“岸然,这是我另外要说的一件事,248纳米激光光源光刻机,可以经过改造,用于1微米制程的芯片生产,不过,涉及一系列复杂的光学曝光技术,这些专利是要折算成资金入股的!”
这个王岸然没有意见,如果能改造成沉浸式光刻机,320纳米制程都没问题。
张大京拿出一份文件递给王岸然。
“股权结构?”
张大京点点头。
王岸然翻开一看,愣住了。
7亿美金只占了35%的股份,张大京团队以技术入股,占15%的股份,张大京自领5%的干股,后面跟着一大串投资人。
王岸然还看到了老伙计高盛,还有新加坡投资集团,湾岛国际等,这么多家,一共才出资3亿美元,加部分专利授权,占股45%。
“岸然,你是知道的,拉高盛进来,也是为我们的设备审批能够快一点,毕竟高盛在公关上还是有一套的。”
王岸然倒不是为高盛入伙头疼,他是为华芯科技出了资金的大头,占的股份确只有三分之一多一点。
唯一让王岸然有些安慰的,就是自己仍然是这家公司最大的股东。
因为前面已经承诺,自己的股份,投票权已经交给张大京,而张大京的团队加上张大京自己的有20%的股份。
加在一起就是55%的股份,完全可以让张大京在新公司说话能算数。
可华芯科技也太亏了吧!
“可谁让自己没有技术呢!活该被宰。”
王岸然摇摇头,这个时候想跟人家玩,不出点见面礼肯定是不行的。
“岸然,还有一点我需要明确一下,一是员工股票池,这是需要各股东按比例出的,现在暂定的是3%
另外就是,这家公司最终是要上市!”
王岸然点点头,张大京拉了这么多的资本进来,而资本是追求利润的,不上市,怎么把股份套现……
“张教授,关于专利入股的事,我需要我的团队评估一下各个专利的价值,其他的,我这边没有问题。对了,张教授,厂房定了没有?”
“还没有,我们的人正在和港府协调,目前来看,还没有找到合适的地皮。”
王岸然也没说话,留着张大京去公关吧!
等他碰壁了之后,他会知道,在大陆建厂也是一个不错的选择。
…………
就在王岸然和张大京纠缠不清的时候,官方内部围绕着“是不是由华芯科技来主导光刻机的开发。”展开了激烈的讨论。
为此官方特别邀请了一众科学家院士和高科技国企老总参与座谈。
刘承志也是在这里才知道,华芯科技竟然将触角伸到光刻机领域,还打报告给发改委高科技司,这要让你做成了,以后国内的it/ic行业,还有幻想科技的一席之地?
“我反对让华芯科技主导光刻机研发,刚才的报告我也看了,华芯科技要求国家,在技术上对项目进行支持。
这是用国家的资源为他私人企业来谋利……”
倪广南憋了一肚子的火,在这个场合下,他也不好拍桌子,耐着性子等到刘承志说完,才说道:“我是赞成的,至于为什么,我想大家都知道,研发光刻机的难度。
即便是举国之力,也不一定研发出世界一流的光刻机,这明显是烧钱的项目,只有蠢货,才会想着从这里占国家的便宜!”
刘承志老脸一红,投向倪广南的目光有些怨恨。
“老不死的,你就是想着跟劳资作对是吧……”
接下来的发言大概支持和反对参半,或者反对多一些,毕竟很多人对华芯科技并不放心。
轮到苏老时,他重重的将拐棍在地板上敲了两下。
在这里,也就苏老有这个谱,老魔童的威风可不是盖的。
“我也听出来了,大家刚才反对的理由无非是两个,一个是害怕华芯科技占国家的便宜,而另外一个理由就是怕华芯科技干不好,怕他们承担不起这个责任。”
“我先说说第一个理由吧,刘总,你也是科院出来的,你没看到华芯科技在学术研究上,投入了多少个课题,有几个课题是能够盈利的。
在坐的或多或少都有参与吧,我记得有几个数学、物理上的基础课题研究,华芯科技是无偿支援的,我倒想问问刘总,你们幻想科技资助了几个课题,又在这方面投入了多少资金……”
刘承志傻眼了,怎么苏老一上来,就把炮口对准他。
“苏老,这不是一回事,而且幻想科技也给科院上缴了不少利润嘛,这也是支持科研啊!”
“屁,那是应该的,科院是你们的大股东,你还想着不上缴利润?”
刘承志被噎的一句话说不出,心里只盼着苏老,您早点说完,早点结束,在这里,简直活受罪。
苏老怼了刘承志一顿,然后转头看向大家,继续说道:“罢了,我再说一件事,你们听了就知道,华芯科技会不会借这个项目敛财了。”
“苏老您说!”
苏青森站了起来,长呼一口气,说道:“华芯科技把国家退税的近八个亿拿了出来,再加上价值五十个亿的华芯科技股份,用这笔钱成立了一个科技奖的基金,在做的各位,都有可能成为这笔基金的收益人……”
“呼!”
“五十八亿!”
“这是要干什么……”
苏老瞄了一下全场,又继续说道:“我可以负责任的担保,华芯科技绝对不会从这个项目来敛财。”
燕京光学器材公司总经理卜向东摇摇头,在他看来,让自己这么一个大国企跟在一家私企后面混,面子上过不去。
见苏老说完,忙跟着发言道:“可是苏老,这也不能说明,华芯科技有这个能力,来担负这么大的一个项目啊!”
“没有这个能力?”苏青森摇摇头。
“我不知道什么叫有能力,华芯科技开发的eda软件,应该有不少人在用吧。
他们开发的操作系统肯定也有人见过。
小型机服务器,还有那处于世界顶尖水平的显卡,你们也应该用过。
更不用说就快要发布的cpu……”
台下窃窃细语。
“没想到华芯科技开发出这么多重量级的产品,几乎没一项都填补了国内的空白,还有cpu,他们开发了cpu了吗?性能怎样?”
“我只知道他们想开发cpu来着,难道他们的cpu出成品了?”
在场的有一大半并不知道这个事。
苏青森看向刘承志,说道:“小刘,你说说吧,华芯科技的cpu,你最清楚了。”
所有人的目光投向刘承志,只见他站了起来,极不情愿的对众人说道:“华芯科技确实生产出了cpu,而且性能,已经达到世界先进水平……”
“吁!”
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